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低压化学气相沉积法生长的GaN(cap)/ AlGaN / AlN / GaN异质结构与SiNx栅介电层之间的界面陷阱和固定电荷的研究

上传者: 2021-04-20 18:51:17上传 PDF文件 741.41KB 热度 8次
低压化学气相沉积法生长的GaN(cap)/ AlGaN / AlN / GaN异质结构与SiNx栅介电层之间的界面陷阱和固定电荷的研究
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