论文研究AlGaN/GaN异质结的微区电性能研究 .pdf
AlGaN/GaN异质结的微区电性能研究，古曦，孙浩明，本文基于扫描探针显微镜(SPM)建立了微区电容的低频测量系统，最小测量电容为30aF，工作频率为20-100kHz。试验测量了SPM导电针尖与金属样
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