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论文研究AlGaN/GaN异质结的微区电性能研究 .pdf

上传者: 2019-09-27 19:54:01上传 PDF文件 276.67KB 热度 23次
AlGaN/GaN异质结的微区电性能研究,古曦,孙浩明,本文基于扫描探针显微镜(SPM)建立了微区电容的低频测量系统,最小测量电容为30aF,工作频率为20-100kHz。试验测量了SPM导电针尖与金属样
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