多晶硅冷却过程中入口流速及隔热底板运动对硅锭内热应力影响
多晶硅冷却过程中入口流速及隔热底板运动对硅锭内热应力影响，王森，张全江，大尺寸高质量多晶硅锭生长的技术难点在于晶体生长各阶段热场精确控制以及过程工艺优化。本文针对多晶硅定向凝固系统冷却过程进行
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