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论文研究纳米图形衬底GaAs/Si材料的热应力分布 .pdf

上传者: 2019-09-08 16:06:42上传 PDF文件 512.71KB 热度 26次
纳米图形衬底GaAs/Si材料的热应力分布,张然,王俊,直接外延制备的GaAs/Si材料由于不同材料热膨胀系数不同会产生热应力。前人利用光致发光谱和拉曼光谱研究发现,使用图形衬底可减小Ga
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