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论文研究生长在半绝缘衬底上的AlGaN/GaN异质结的生长与特性 .pdf

上传者: 2019-09-20 07:05:03上传 PDF文件 1.04MB 热度 29次
生长在半绝缘衬底上的AlGaN/GaN异质结的生长与特性,梅菲,付秋明,本文研究了用射频等离子体援助分子束外延,生长在蓝宝石衬底上的Al0.30Ga0.70N/GaN异质结。20纳米的Al0.30Ga0.70N阻挡层沉积在2微米的半绝缘
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