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LPCVD和PECVD SiNx钝化的AlGaN / GaN HEMT的比较研究

上传者: 2021-05-04 18:24:35上传 PDF文件 679.57KB 热度 20次
LPCVD和PECVD-SiNx钝化的AlGaN / GaN HEMT的比较研究
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