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厚的LPCVD 生长的SiNx层钝化的GaN HEMT中的坚固的SiNx / AlGaN界面

上传者: 2021-03-16 21:12:11上传 PDF文件 639.76KB 热度 9次
厚的LPCVD-生长的SiNx层钝化的GaN HEMT中的坚固的SiNx / AlGaN界面
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