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通过采用低温和高温交替技术的多层结构在蓝宝石上外延生长AlN膜

上传者: 2021-04-20 10:44:24上传 PDF文件 3.18MB 热度 11次
通过采用低温和高温交替技术的多层结构在蓝宝石上外延生长AlN膜
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