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利用高温金属有机化学气相沉积法在蓝宝石上进行两步生长的AlN原位观察

上传者: 2021-04-20 10:44:30上传 PDF文件 1.22MB 热度 14次
利用高温金属有机化学气相沉积法在蓝宝石上进行两步生长的AlN原位观察
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