波导的溶胶 凝胶工艺

对于光学波导与导波设备、电路的制造而言,溶胶-凝胶工艺的出现不失为一种有效途径.特别是集成光学有源器件及电路中掺活性掺杂物(如钕、铒、铈).本文回顾了基于溶胶-凝胶工艺的有源器件、电路的最新研究.对于光学放大器中的激活溶胶-凝胶薄膜的模拟分析,我们提出激光器原子磁化理论及其速率方程,适当考虑了波导参数.采用波束传播法研究激活掺杂溶胶-凝胶薄膜设备(如直线波导、丫形支管、定向耦合器)的传播及增益特性.也在研究掺铈薄膜中布拉格光栅的形成,在微电机系统(MEMS)的未来应用也在研究中,可采用溶胶-凝胶工艺形成光层,并通过机械作用加以控制.