溶胶凝胶法制备SiO

用溶胶凝胶法在SiO2基片上提拉制备了掺Er3+∶Al2O3光学薄膜。采用扫描电子显微镜、原子力显微镜、差热热重分析仪、X射线衍射仪研究了掺Er3+∶Al2O3光学薄膜的形貌和结构特性。在900 °C烧结后,SiO2基片上提拉15次形成厚度8 μm掺摩尔比0.01 Er3+的面心立方结构γ-Al2O3薄膜具有明显(110)择优取向,掺摩尔比0.01 Er3+对γ-Al2O3的晶体结构和结晶生长过程未产生显著影响。薄膜具有均匀多孔结构,平均粒径为30~100 nm,平均孔径为50~100 nm,表面起伏度为10~20 nm。掺摩尔比0.01 Er3+∶γ-Al2O3薄膜,获得了中心波长为1.534