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低损耗玻璃光波导的溶胶 凝胶法制备

上传者: 2021-02-20 01:22:17上传 PDF文件 766KB 热度 11次
采用溶胶-凝胶(sol-gel)技术制备了SiO2-TiO2低损耗平面光波导,在633 nm处的传输损耗为0.57 dB/cm。同时在硅基板上制备了脊型Y形波导分束器,分束比为11。
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