退火工艺对溶胶凝胶薄膜残余应力的影响

Name: 退火工艺对溶胶凝胶薄膜残余应力的影响
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Author: qq_77875

上传者：qq_77875 2020-08-07 03:11:08上传 PDF文件 662.27KB 热度 52次

使用溶胶凝胶法制备了铁电薄膜,分别利用原子力显微镜、X 射线衍射及面探扫描技术分析了薄膜的组织结构,并运用掠入射X射线衍射法研究了不同工艺条件下制备的薄膜的残余应力。

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