溶胶 凝胶法制备AZO薄膜工艺参数的优化

(华中科技大学材料科学与工程学院, 武汉 430074)摘 要:采用正交设计法,对溶胶-凝胶方法制备AZO薄膜的工艺参数进行了优化研究,确定了最佳工艺参数,为制备AZO薄膜的工业化控制提供了一种可行的方法。 关键词:AZO薄膜;溶胶-凝胶;正交设计 中图分类号:TN304.055;TG174.45 文献标识码:A 文章编号:1003-353X(2005)05-0022-021 引言 近年来,具有宽禁带(3.3eV)的n型半导体氧化锌(ZnO)薄膜成为国内外科技人员的研究热点。ZnO及ZnO∶Al薄膜在UV、VIS和NIR范围内的光透性和导电性都显示出非常好的性能,并且因为具有易产生缺陷和进行杂