溶胶 凝胶工艺制备SrTiO3纳米薄膜的研究

(中国科学院半导体所材料中心,北京100083)摘 要:采用溶胶-凝胶方法,以醋酸锶、钛酸四丁酯为前驱体,乙酰丙酮为螯合剂,乙二醇甲醚为溶剂,乙酸为助溶剂和催化剂制备溶胶,用旋涂法在Si(100)衬底上制备出了具有典型钙钛矿型结构的SrTiO 3纳米薄膜。用XRD、AFM、SEM和椭圆偏光仪等手段分析了薄膜的性能,结果显示薄膜的表面均匀、无裂纹、厚度20-30nm,折射率1.75-1.85,晶粒度35-60nm,表面平均粗糙度RMS为3.4-3.8nm,晶粒形貌呈类圆锥形态。 关键词:SrTiO3薄膜;溶胶-凝胶工艺;纳米薄膜 中图分类号:TN304.9 文献标识码:A 文章编号:1003-3