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沉积压力对射频磁控溅射制备的IGZO薄膜光学和电学性质的影响

上传者: 2021-04-06 04:07:55上传 PDF文件 883.48KB 热度 15次
沉积压力对射频磁控溅射制备的IGZO薄膜光学和电学性质的影响
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