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沉积气氛对直流磁控溅射制备的Mg掺杂CuCrO2薄膜结构和性能的影响

上传者: 2021-04-04 07:28:46上传 PDF文件 856.64KB 热度 12次
沉积气氛对直流磁控溅射制备的Mg掺杂CuCrO2薄膜结构和性能的影响
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