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射频磁控溅射和离子束溅射制备的AZO / Cu / AZO三层膜的结构光学和电学性质

上传者: 2021-04-17 18:12:35上传 PDF文件 777.93KB 热度 5次
射频磁控溅射和离子束溅射制备的AZO / Cu / AZO三层膜的结构,光学和电学性质
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