基于GaAs MMIC技术的X波段电容膜MEMS微波功率传感器

本文介绍了电容膜MEMS微波功率传感器的建模,制造和测量。 该传感器测量通过MEMS膜从共面波导(CPW)传输线耦合的微波功率,然后使用热电堆将其转换为直流电压输出。 由于制造Craft.io与GaAs单片微波集成电路(MMIC)Craft.io完全兼容,因此该传感器可以方便地嵌入MMIC中。 根据测得的直流电压输出和S参数,X波段的平均灵敏度为225.43μV/ mW,而反射损耗低于-14 dB。 MEMS微波功率传感器具有良好的线性度,在整个X波段中的电压驻波比均小于1.513。 此外,使用幅度调制信号进行的测量证明,调制指数直接影响输出直流电压。 ? 2009中国电子学会。