基于GaAs MMIC技术的微波功率传感器

提出了一种用于测量微波信号功率的新颖结构。 它测量通过MEMS膜从CPW线耦合的微波功率。 在这种方法中,信号在功率检测期间可用。 功率传感器的制造与GaAs MMICCraft.io兼容。 给出了该传感器的设计,制造和实验结果。 实验结果表明,该传感器在12 GHz以下的反射小于-15 dB,插入损耗小于2.0 dB。 这种功率传感器在10 GHz频率下的总灵敏度为10.4νVmW-1。 ? 2007 IOP出版有限公司