传感技术中的基于MEMS技术的微型传感器

摘要:和传统的传感器相比,微型传感器具有许多新特性,它们能够弥补传统传感器的不足,具有广泛的应用前景,越来越受到重视。文中详细介绍了一些微型传感器件的结构和原理,说明了微型传感器的基本性能特点和微型传感器的发展趋势。 关键词:MEMS 技术;微型传感器;智能化;多功能化 微型传感器的特点 传统的传感器件因其制作工艺与半导体IC 工艺不兼容,所以无论在性能、尺寸和成本上都不能与通过IC 技术制作的高速度、高密度、小体积和低成本的信号处理器件相适应,于是制约了整个系统的集成化、批量化和性能的充分发挥。 微型传感器不是传统传感器简单的物理缩小的产物,而是以新的工作机制和