基于GaAs MMIC技术的微机械在线式宽带微波功率传感器

提出了一种宽带8-12 GHz串联式微波功率传感器,该传感器基于通过微机电系统膜测量从共面波导线耦合的微波功率。 在这种方法中,信号在功率检测期间可用。 为了获得低的反射损耗和插入损耗,以及功率传感器的宽带响应,提出了一种阻抗匹配结构和补偿电容。 功率传感器的制造与GaAs单片微波集成电路(MMIC)Craft.io兼容。 实验结果表明,该传感器在12 GHz以下的反射损耗优于20 dB,插入损耗小于0.45 dB。 在10 GHz频率下可获得超过30μV/ mW的灵敏度和0.2 mW的分辨率。 ? 2009 IEEE。