终端型MEMS微波功率传感器的热时间常数

提出了一种基于塞贝克效应并与GaAs MMICCraft.io兼容的终端型MEMS微波功率传感器。 引入电热模型来模拟热时间常数。 还给出了非平稳傅立叶热方程对传感器结构的热时间常数的约160 ms的分析结果。 传感器测量的微波功率在15 GHz恒定频率下从15 dBm跃升至20 dBm,实验热时间常数结果为180 ms。 在恒定功率20 dBm的情况下,频率也从20 GHz变为10 GHz,结果也是180 ms。 与分析和实验结果比较,验证了模型的正确性。 ? 2009中国电子学会。