基于微波谐振腔的湿度传感器

构建了含水混合物介电特性模型,设计了基于此模型的开路同轴谐振腔传感器,并指出影响其传感特性的两 个主要参数是保护盖介电常数和空载谐振频率。鉴于此,针对保护盖材料及空载谐振频率对传感器传感特性的影响进 行了全面分析和仿真。加工了具有不同谐振频率的微波谐振腔及不同材料的端口保护盖。实验结果表明,该模型能够 很好地指导传感器的设计,同时选取Al2O3作为保护盖材料及具有空载谐振频率为2. 5G Hz 的谐振腔,具有较好的测量效 果。 关键词:开路同轴谐振腔;湿度传感器;湿度测量