基于光声效应的MEMS气体传感器模块解析

光声效应(photoacousTIceffect)在19世纪被发现,它可以将光转换成声音。当物质受到周期性强度调制的光照射时,产生声信号的现象。用光照射某种媒质时,由于媒质对光的吸收会使其内部的温度改变从而引起媒质内某些区域结构和体积变化;当采用脉冲光源或调制光源时,媒质温度的升降会引起媒质的体积涨缩,因而可以向外辐射声波。这种现象称为光声效应。 光声效应被应用于非分散性红外吸收光谱(NDIRNon-DispersiveInfraRed)等设备中,NDIR是 个利用这种效应检测气体的商用设备。NDIR是一种基于气体吸收理论的方法。红外光源发出的红外辐射经过一定浓度待测的气体吸收之后,与气