微型红外光声气体传感器的研究

Name: 微型红外光声气体传感器的研究
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Author: 心为你而留彡

上传者：心为你而留彡 2020-08-05 03:55:36上传 PDF文件 2.35MB 热度 40次

本文是一篇硕士论文,围绕MEMS化的光声气敏传感器展开光声腔等方面的研究。

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微型红外光声气体传感器的研究

本文是一篇硕士论文,围绕MEMS化的光声气敏传感器展开光声腔等方面的研究。

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