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智能MEMS气体传感器中微加热器的优化设计

上传者: 2020-05-15 01:19:18上传 PDF文件 340.39KB 热度 12次
智能MEMS气体传感器中微加热器的优化设计,曾增烽,,传统的金属氧化物气体传感器通常用于测量可燃性烃类气体和其他有毒气体。但是,他们存在两种缺陷,即(a)较高的工作温度(不小于300℃)�
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