一种硅基 MEMS 电离式气体传感器

在室内环境控制领域, 对作为信号转换反馈节点的气体传感器提出了两大挑战: 一是气体浓度变化范围大,二是许多具有相似化学性质的不同气体混合物难于快速辨识。为解决上述难题, 本文提出了一种兼容微电子机械系统(Micro-electromechanical Systems, MEMS)制造工艺的、 带有微纳米功能结构硅材料的电离式气体传感器,并且在含有乙醇和丙酮等挥发性有机化合物(volatile organic compounds, VOC) 的环境下进行了传感器响应特性测试。实验结果表明,该传感器在接近饱和蒸气压的极端环境下依然表现出快速恢复的能力。