热隔离式MEMS气体流量传感器的设计及标定

设计了一种数字输出热隔离式MEMS气体质量流量传感器,芯片加热电阻与测温电阻完全热隔离,流量值采用UART串口输出.分析了恒温差电路、上下游测温电路、HX711模数转换电路及STC 15W408AS单片机电路的设计.针对制造中存在的性能差异,设计了适用于批量制造的标定方法.测试结果表明:传感器具有平滑的输出特性,经过标定后,具有较高的一致性及重复性,适合于工业等领域