脉冲激光沉积Pd/Ag膜的工艺研究

脉冲激光沉积(PLD)镀膜法是一种制备光纤氢气传感器的潜在方法,利用脉冲准分子激光低温沉积技术,在光纤法布里-珀罗(F-P)腔的敏感膜片上制备了钯/银(Pd/Ag)合金薄膜,X 射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)表征显示在较高的脉冲激光能量和低温下可以获得结晶度好的Pd/Ag 合金薄膜。将该F-P 腔封装在限制Pd/Ag 膜层吸氢后膨胀方向的套管结构中,利用Pd/Ag 膜层吸氢后膨胀导致F-P 腔腔长改变的特性制备了氢气传感探头来测试该Pd/Ag 膜的氢气敏感特性,实验结果表明,该传感器可以用来检测氢气浓度的变化。