超快脉冲激光沉积类金刚石膜的研究进展

Name: 超快脉冲激光沉积类金刚石膜的研究进展
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Author: pengshen44813

上传者：pengshen44813 2021-02-25 21:16:31上传 PDF文件 779.77KB 热度 53次

综述了脉冲沉积(PLD)类金刚石膜(DLC)的优势和局限,对其局限的补偿和突破,以及脉冲沉积法的重要发展方向——超快脉冲激光沉积(Ultra-fast PLD)类金刚石膜(DLC)的研究进展。

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超快脉冲激光沉积类金刚石膜的研究进展

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