氮化硼薄膜的脉冲激光沉积

Name: 氮化硼薄膜的脉冲激光沉积
Rating: 4.5 (45 reviews)
Author: kimi_22774

上传者：kimi_22774 2021-04-26 00:36:45上传 PDF文件 1.28MB 热度 45次

用Q开关YAG激光器的1.06 μm的脉冲激光在硅及玻璃衬底上沉积了氮化硼薄膜。做了SEM,XRD,红外透射谱和紫外一可见透射谱等测试。确认为六方氮化硼(h-BN)薄膜.并测出其禁带宽度、晶格常数等。

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