表面钝化工艺及原理概述

§8.1 概述 0.5学时 课程内容: 1 器件进行表面钝化的必要性 1.1 早期制造的器件电性能的劣化现象 1.1.1 劣化现象 1.1.2 导致器件失效的主要参数 1.2 器件电性能劣化的原因在器件表面 2 表面钝化及其发展 2.1 表面钝化及表面钝化工艺 2.2 表面钝化的发展 2.2.1 表面