钝化工艺 上传者：linjia57201 2020-12-23 05:42:34上传 PDF文件 19.5KB 热度 14次 在集成电路制作好以后,为了防制外部杂质,如潮气、腐蚀性气体、灰尘侵入硅片,通常在硅片表面加上一层保护膜,称为钝化。 目前,广泛采用的是氮化硅做保护膜,其加工过程是在450°C以下的低温中,利用高频放电,使 和 气体分解,从而形成氮化硅而落在硅片上。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 收藏 腾讯 微博 用户评论 发表评论 linjia57201 资源：433 粉丝：0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
