元器件应用中的表面钝化工艺

课程内容: §8.3.1 氯化氢氧化法 1 氯化氢氧化工艺 1.1 盐酸鼓泡法 1.2 氯化氢渗透法 1.3 硫酸脱水法 1.4 分子筛吸附法 1.4.1 分子筛饱和吸附氯化氢 1.4.2 氮气流通分子筛携氯化氢进入反应器 2 实际工艺过程及钝化机理 2.1 实际工艺过程 2.1.1 钝化系统 2.1.2 钝化硅表面 2.2 钝化机理 2.2.1 系统钝化机理 2.2.2 二氧化硅-硅系统钝化 2.3 氯化氢氧化应注意的问题 2.3.1 钝化作用与氧化时氯化