热氧化工艺及生长原理讨论

课程内容: 1 热氧化工艺 1.1 实际热氧化工艺选择 1.1.1 对热氧化工艺的要求 1.1.2 实际热氧化工艺 1.2 典型工艺条件 1.3 典型工艺设备和工艺流程 1.3.1典型工艺设备 1.3.2 典型工艺流程 2 热氧化的动力学分析 2.1 动力学模型的建立 2.1.1 氧化剂由气相输运到气相-二氧化硅界面 2.1.2氧化剂进入二氧化硅中,穿透二氧化硅层到达二氧化硅-硅界面 2.1.3 氧化剂在二氧化硅-硅界面