传感技术中的基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器的设计

硅微加速度传感器是。MEMS器件中的一个重要分支,具有十分广阔的应用前景。由于硅微加速度传感器具有响应快、灵敏度高、精度高、易于小型化等优点,而且该种传感器在强辐射作用下能正常工作,使其近年来发展迅速。与国外相比,国内对硅微传感器的研究起步较晚,所做的工作主要集中在硅微加速度传感器的加工制造和理论研究。文中以双端固支式硅微加速度传感器为研究对象,借助Aasys软件对其性能进行仿真分析,从而选出性能优良的结构形式。 1 传感器结构及工作原理 压阻式加速度传感器是最早开发的硅微加速度传感器,弹性元件的结构形式一般均采用微机械加工技术形成硅梁外加质量块的形式,利用压阻效应来检测加速度。在