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MEMS高G加速度传感器设计

上传者: 2019-09-14 05:09:54上传 DOC文件 379KB 热度 27次
作业:设计一个高g值(100000)压阻式微加速度传感器要求:给出设计步骤。给出确定结构形状和尺寸的依据。说明力学仿真的作用。
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