传感技术中的基于DSP的数字式MEMS加速度传感器的设计与应用

引言 加速度传感器一直是振动测试中的重要元件。ADXL203加速度计是美国模拟器件(ADI)公司的新型单芯片双轴传感器,测量范围是±1.7g.可以承受3500g振动冲击。相对于传统的加速度计,他的成本比较低,性能好,功耗低。此外,该加速度计可以同时测量两个垂直方向的加速度,适用于静态和动态的加速度测量。 测量原理 ADXL203采用先进的MEMS技术,由一个利用表面微机械加工的多晶体硅机构和一个差动电容器组成。在加速度的作用下,多晶体硅结构会产生偏移,于是就会拉动电容的运动极板滑动是电容值发生变化,最终导致输出方波的变化,利用这个原理,就可以通过查动电容检测到加速度的变化,加