基于MEMS技术的加速度传感器分析与应用

高速发展的电子及其制造技术使微机电系统(Micro-Electro-Mechanical-SySTems ,MEMS)迅速普及。其实基于MEMS技术的加速度传感器、压力传感器、陀螺仪等已经有30余年的应用历史,但由于技术和成本等多方面的原因,这些技术主要应用于工业、军事、汽车制造、仪器仪表,及医疗等领域,而未进入消费类产品市场。目前的情况则已大幅改观,MEMS技术已不像几十年前那样贵如珠宝,低成本、小尺寸、低功耗、高性能的MEMS传感器产品已掀起新的设计和消费浪潮。基于MEMS技术的多轴加速度传感器目前主要应用于游戏机和手机、硬盘防跌落保护、便携式设备的健身计步测量,以及数码相机/摄相机的防抖