基于MEMS硅微加速度传感器的设计方案
硅微加速度传感器是MEMS器件中的一个重要分支,具有十分广阔的应用前景。由于硅微加速度传感器具有响应快、灵敏度高、精度高、易于小型化等优点,而且 该种传感器在强辐射作用下能正常工作,使其近年来发展迅速。
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