基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器的设计

Name: 基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器的设计
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Author: xxddmm

上传者：xxddmm 2020-08-30 02:44:09上传 PDF文件 77.25KB 热度 41次

文中以双端固支式硅微加速度传感器为研究对象,借助Aasys软件对其性能进行仿真分析,介绍了基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器的设计

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