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基于光斑偏移激光干涉测量系统余弦误差补偿技术

上传者: 2020-08-22 14:27:34上传 PDF文件 727.96KB 热度 25次
基于光斑偏移激光干涉测量系统余弦误差补偿技术,胡鹏程,王斌豪,激光干涉测量系统中,余弦误差是影响干涉测量精度的重要因素之一,并且因被测长度成比例增加。本文提出一种在线余弦误差测试及实
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