论文研究 笛卡尔多轴系统中基于激光干涉仪的定位误差补偿测量

准确性是评估多轴系统（MAS）特性和性能的最重要的关键指标之一。 MAS的精度，例如机床，测量机和机器人，会受到各种误差源的不利影响，这些误差源包括几何缺陷，热变形，载荷效应和动态干扰。 在各种工业应用中对更高尺寸精度的需求不断增长，这就需要开发出具有成本效益的方法来增强这些机构的整体性能。 通过升级物理结构来提高MAS的精度将导致制造成本呈指数增长，而没有完全消除MAS组件的几何偏差和热变形。 因此，通过基于软件的替代方法减少MAS误差以提供几何和热引起的误差的实时预测和校正的想法被认为是实现MAS的全部潜力的战略性步骤。 本文提出了一种结构化方法，旨在通过软件错误补偿来提高笛卡尔MAS的准