单频激光干涉仪中偏振分光棱镜误差与补偿

提出了单频激光干涉仪中偏振分光棱镜(PBS)误差的在线补偿方法。研究了入射条件对PBS偏振特性的影响,定量给出了斜入射时PBS的琼斯矩阵;研究了PBS的偏振误差对单频激光干涉仪的影响,通过对光源输入光偏振态和PBS入射角度的调制,实现了PBS误差的在线补偿,提升了干涉信号的对比度,抑制了单频激光干涉仪的非线性误差。研究表明,该方法可以有效补偿PBS的偏振误差,改善干涉信号质量,提高干涉仪的测量分辨率,可被广泛应用于纳米高精度激光干涉仪的研究与制备等领域。