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外差激光干涉仪非线性误差分析及测量

上传者: 2021-02-16 03:27:47上传 PDF文件 7.34MB 热度 13次
对外差激光干涉仪中的非线性误差理论进行了综述,着重分析了一阶、二阶非线性误差的形成机理、非线性误差的大小及表现形式,并对非线性误差检测和补偿方法的研究进展进行了详细阐述和分析,指出了各类方法的应用特点,为开展这一方向的后续研究提供理论基础。
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