波面干涉测量中的可变像差补偿技术

以非球面为代表的复杂面形在现代光学系统中的应用越来越广泛,因为它比球面提供了更多的设计自由度,可用更少的元件达到更优的成像质量。然而非球面的多样性也带来了面形测量的难题,传统的零位测试没有灵活适应不同面形的能力。可变像差补偿技术对于提高检测柔性和效率具有重要意义。针对回转对称非球面的球差补偿,分析了部分补偿透镜、相位板组合和高次非球面单透镜等可变补偿方案;针对离轴非球面的像差补偿,分析了倾斜球面系统、Risley棱镜和双回转相位板的可变补偿方案;进而介绍了变形镜和空间光调制器(SLM)作为可编程补偿器用于波面干涉测量的研究进展。最后指出可变像差补偿技术面临的大范围和多模式像差补偿、回程误差补偿