单频激光干涉仪非线性误差补偿方法研究

提出了一种用于单频激光干涉仪的非线性误差被动补偿方法。利用干涉仪中波片位置的在线预置,实现干涉仪偏振态的超前调整,补偿干涉仪中由偏振分光棱镜、消偏振分光棱镜以及波片的性能和位置非理想导致的非线性误差。构建干涉仪非线性误差在线检测装置进行实验研究。结果表明,通过被动补偿方法集成的干涉仪输出信号的交直流抑制比大于500,非线性正交相移m减小至0.003 rad(0.15 nm)。通过连续24 h的稳定性测量实验可知,参数m变化幅度在0.024 rad(1.21 nm)内,极大地抑制了干涉仪的非线性误差。