光刻工艺对光刻版的质量要求

课程内容: 1 版的图形尺寸精确 2 版的套准误差小 3 版的黑白反差高 4 图形边缘光滑陡直无毛刺、过渡区小 4.1 过渡区定义和特点 4.2 过渡区产生的原因 4.3 过渡区造成的影响 5 版面光洁无针孔、小岛及划痕 5.1 版面缺陷 5.2 版面缺陷的影响 6 版面耐磨、坚固、不变形 课程重点:本节前介绍了光刻版的质量在器件制造中的作用,指出:对最简单的三极管制造至少需要四块光刻版,而常规集成电路制造至少需要六块光刻版;每一块光刻版的质量均对器件制造成品率有着很大的影响,而整套光刻版对器件制造成品率的