论文研究SU8胶紫外光背面光刻工艺模拟研究 .pdf 上传者：xin9707635 2020-01-04 09:47:54上传 PDF文件 797.77KB 热度 27次 SU-8胶紫外光背面光刻工艺模拟研究，吴丹，张恒，本文建立了完整的SU-8胶背面光刻工艺模拟系统，模拟了背面光刻工艺中的曝光、后烘、交联显影过程，其中曝光过程综合考虑了衍射、�� 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 立即下载 用户评论 发表评论 xin9707635 资源：19598 粉丝：0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
